普发真空 1958 年发明涡轮分子泵，是高真空 / 超高真空领域标杆厂商，强项集中在涡轮分子泵，同时覆盖旋片泵、干式涡旋泵、多级罗茨干泵、氦检仪、真空计全套真空链，主打洁净、低振动、高稳定性，科研、分析仪器、半导体、高端镀膜行业占有率极高。
一、核心技术优势
1、轴承两大成熟技术路线
1）混合轴承（永磁 + 陶瓷球轴承，HiPace 主流）转子一端永磁悬浮、另一端陶瓷球轴承；兼顾成本与寿命；正常工况维护周期4‑5 年；抗冲击优于全磁悬浮；是工业、仪器领域用量最大版本。 2）五轴全磁悬浮轴承（ATH 系列）转子完全无机械接触、无磨损，真正免维护；无润滑油、零油污染；振动极小；抗震动冲击，适合电镜、质谱、半导体严苛工艺；可任意角度安装。
专利Laser Balancing 激光转子平衡技术，激光消融做动平衡，转子不平衡量极低，整机振动、噪音控制优秀，对振动敏感设备（质谱、电镜）非常关键。
2、极限真空高、气体压缩性能强
涡轮泵极限可达 10⁻¹¹ hPa 超高真空；对氢气、氦气轻气体压缩比非常优秀，质谱、检漏非常看重该指标。
SplitFlow 分流式分子泵：单泵同时提供两路独立抽气，一台泵同时给分析探头 + 主腔体抽真空，大幅简化仪器结构，大量 OEM 在质谱仪上使用。
3、全系列智能控制与通信
分子泵驱动集成控制器，支持转速监控、温度、过载、冲击事件记录；RS485/RS232、以太网，可接入 PLC、上位系统；支持远程监控、故障预判；部分型号驱动单元可分离，用于辐射、高温环境。 具备双重超速保护，满足 SEMI S2、UL 安全标准，半导体、科研设备合规性好。
4、完整真空链，一站式方案
粗真空（旋片、涡旋干泵）→中真空（多级罗茨）→高 / 超高真空（涡轮分子泵）；配套真空计、残余气体分析仪 RGA、氦质谱检漏仪；泵 + 测量 + 检漏全部自家产品，系统匹配度高，减少不同品牌兼容问题。
5、洁净真空方案丰富
HiScroll 涡旋干泵：无油，低噪音低振动，作为分子泵前级，消除油返污染风险，实验室、分析仪器首选。
多级罗茨干泵：无油无接触，可处理腐蚀性工艺气体，半导体镀膜工艺使用；转子可做防腐涂层，适配蚀刻、CVD 工艺气体。
6、短板客观说明
价格偏高，相比普旭、莱宝，大流量粗真空旋片泵不是强项；
国内维修周期长，备件成本高；
重载、大量粉尘工况不如工业粗泵；粉尘环境需要前置过滤。
二、核心主力产品线
HiPace 系列涡轮分子泵（市场主力）混合轴承，抽速 12‑3200L/s；体积紧凑，可任意姿态安装；覆盖仪器、镀膜、科研；HiPace Neo 新一代带激光平衡，振动更低。
ATH 系列全磁悬浮分子泵五轴磁悬浮，免维护，零油污；半导体、电子显微镜、MBE 分子束外延等超高真空场景。
SplitFlow 分流分子泵双抽气口，一台泵两路真空，质谱仪 OEM 标配，设备小型化。
DuoLine 双级油旋片泵前级泵，极限 10⁻³hPa，坚固耐用，分子泵配套前级、普通工业真空。
HiScroll 涡旋干式前级泵无油前级泵，低噪音，替代油旋片，杜绝返油污染，质谱、电镜、实验室设备。
OktaLine 多级罗茨干泵、COBRA 螺杆干泵半导体工艺干式粗抽，处理腐蚀性、可凝性气体，用于 PVD/CVD、蚀刻设备。
氦质谱检漏仪、真空计、RGA 残余气体分析仪配套检测设备，半导体、真空腔体检漏。
三、典型应用领域
分析仪器（普发传统优势市场）质谱仪、电子显微镜、X 射线仪器；对振动、油污极其敏感，大量仪器原厂标配普发分子泵。
半导体与泛半导体PVD、CVD、刻蚀、ALD；MBE 分子束外延；磁悬浮分子泵 + 多级罗茨干泵，保证洁净无颗粒工艺环境。
真空镀膜行业光学镀膜、装饰镀膜、工具硬质涂层；HiPace 分子泵组提供高真空。
科研大装置同步辐射、离子源、太空环境模拟、高能物理实验，超高真空需求。
工业高端检漏动力电池、氢能源零部件、制冷器件氦检，配套普发检漏仪 + 分子泵。
实验室通用真空冻干、材料实验，涡旋干泵 + 分子泵组合。
四、选型简单参考
质谱、电镜，怕振动、怕油污：优先全磁悬浮 ATH或HiPace Neo + HiScroll 干前级；
镀膜、普通工业高真空，预算平衡：HiPace 混合轴承分子泵 + DuoLine 旋片泵；
半导体工艺，腐蚀性气体：选多级罗茨 / 螺杆干泵做前级；
追求免维护、少保养：磁悬浮，但采购成本显著高于混合轴承。
