普发真空检漏仪主要分为:MiniTest 便携手持、ASM 氦 / 氢示踪检漏仪(主力)、ASI 模块化嵌入型、Air 压差式空气检漏仪四大类;ASM 又按形态分为手持便携、台式便携、通用多用途、移动推车式、固定控制台、工作台集成模块型。
一、MiniTest 300(掌上手持便携检漏仪)
定位:轻量化现场查漏,手持式,整机约 5kg
特点:
体积重量很小,适合现场巡检、真空设备维修找漏点;
允许入口压力最高 200 hPa,耐一定水汽;
无线遥控探头,只能吸枪嗅探模式(喷氦外部找漏点),不支持真空内腔反向测试;
应用:真空炉、管道现场维护,只做漏点定位,不适合定量精密测试。
二、ASM‑310 超轻一体式便携台式
定位:便携式一体机,自带内置干泵,无油;整机约 21kg,可以手提 + 选配推车,可航空托运出差维保
特点:
内置全套无油前级泵,不需要外接真空泵;支持真空法 + 吸枪嗅探双模式;
可拆卸分离触摸屏,可远程手持操作;机身任意摆放(多姿态工作);
抽速中等;灵敏度不错,但不适合超大腔体大抽速工况;
典型用途:实验室设备维保、半导体机台现场检修、镀膜机现场查漏;适合设备售后维护出差;
短板:抽速偏小,大批量产线连续测试不优先选。
三、ASM‑340 /340‑D /340‑I(多用途主力通用机型)
市面用量最大的通用款;分版本:D = 内置干式无油泵;I = 无前级泵,外接用户自己前级泵;普通版本内置油旋片泵
核心特点:
抗高压入口:入口压力可到 100 hPa,抗大气冲击能力很强,样品腔体不用抽到很低就可以启动检漏,节约预抽时间;
真空 + 吸枪双模式;支持氦气、氢气两种示踪气体;
丰富 IO、RS232、Profinet/EtherCAT 通讯接口,支持集成进自动化产线;触摸屏可拆卸远程控制;
D 干式版本适合洁净室、半导体;油泵版本成本更低用于普通工业;
应用:新能源零部件、真空阀、腔体、焊接件;半导体湿法腔体、真空管路;既可实验室单机使用,也可以嵌入自动化检漏工位;
对比 ASM310:340 抽速更大,抗冲击更好,自动化接口更强,更适合少量产线工位。
四、ASM‑182T /182‑TD+(高性能紧凑型台式)
定位:高性能台式,中等抽速,高精度定量检漏特点:
更高氦抽速,响应速度快;最小可检漏率很低;TD + 为干泵洁净版本;
自带内置标准漏孔,自动校准;
机身台式放置;适合研发 + 中小批量工件精密密封性测试; 应用:真空元器件、传感器、航空零件、电子封装;半导体零部件密封检测。
五、ASM‑192T /192‑T2D+(落地控制台固定机型)
定位:落地立式控制台,大抽速固定工位,产线离线检漏台特点:
前级泵功率大、氦抽速高,适配大容积腔体工件;大腔体预抽后检漏,建立测量速度快;
T2D + 干式全无油版本,洁净室等级,无油污染;自带内置标准漏孔自动校准;
人机控制台高度适合长期操作员连续作业;IO 接口齐全; 应用:大型真空腔、真空反应腔体、电池模组、大尺寸航空部件;半导体设备零部件离线检测;适合工厂固定检漏工位,不适合经常移动搬运。
六、ASM‑390 /ASM‑392(洁净室移动式推车机型,半导体高端主力)
定位:整机带推车移动式、全干式无油系统,面向半导体 Fab 洁净车间,特点:
整套推车一体化,全部干式泵,无油、无粉尘;完全满足半导体洁净室;
氦抽速是 ASM 系列里面很高一档;大腔体检漏响应快;抗氦本底残留;
移动脚轮可以在洁净车间设备之间转运,既可以固定工位,也可以移动到机台旁检修;
应用:晶圆制程设备腔体、刻蚀沉积机台维护检漏;12 寸半导体工厂湿法、真空腔体检漏;是半导体 Fab 最常用移动检漏机型。
七、ASI‑35 系列(嵌入式模块化检漏模块,无独立人机屏幕)
定位:OEM 模块,不做独立台式整机;直接嵌入客户自动化检漏设备内部特点:
只有质谱分析单元;前级泵由客户系统配置;不带本地显示屏;全部由上位机 PLC 通讯控制;
体积紧凑,提供全部总线接口;适合集成全自动检漏工作站; 应用:新能源、半导体自动化检漏专机内部 OEM 集成;设备厂商二次开发。
八、ASM‑1002 独立工作台检漏系统(成套工作站)
整机成套带测试仓工作台;直接整机用于小工件批量密封检测;多用于医疗药瓶、小型器件;开箱就可以做工件的真空箱检漏;
九、Air‑系列(压差式空气检漏仪,非氦质谱)
不需要氦气,靠压力衰减检测泄漏;适合大漏、对灵敏度不高的工件;精度远低于氦质谱;多用于普通塑料壳体。
选型快速总结对照表
表格
| 系列 | 形态 | 泵配置 | 主要适用场景 | 是否适合洁净室 |
|---|---|---|---|---|
| MiniTest300 | 手持掌上 | 内置干泵 | 现场嗅探找漏点;只吸枪 | ✅;仅定位,不能定量 |
| ASM‑310 | 手提台式一体机 | 内置干泵 | 出差维保、实验室;中小型腔体检修 | ✅;抽速偏小 |
| ASM‑340 | 台式通用 | 油泵 / 内置干泵 D / 无泵 I | 通用工业 + 少量自动化集成工位;抗大气冲击好 | D 干式版✅ |
| ASM‑182TD+ | 台式高性能 | 内置干泵 | 中小工件高精度定量测试 | ✅ |
| ASM‑192T2D+ | 落地控制台 | 外置大干泵 | 大容积工件,工厂固定离线检漏台 | ✅ |
| ASM‑390/392 | 洁净推车移动 | 整套干式推车 | 半导体 Fab 洁净车间移动检漏 | ✅半导体洁净首选移动机型 |
| ASI‑35 | OEM 模块化 | 无内置泵 | 嵌入客户自动化专机内部 OEM 集成 | 看外接前级泵 |
补充行业适配
设备维修外出运维优先选 ASM‑310;
湿法腔体小型自动化检漏工位优先选 ASM‑340D(干泵版本);
12 寸 Fab 洁净车间机台移动巡检优先 ASM‑392 推车干式款;
如果是自己做非标检漏专机设备内部集成,选 OEM 模块 ASI‑35。

